NANOFLEX
Neuartige nanoskalige Funktionsschichten mit plasmaunterstützter Atomlagenabscheidung (ALD) für miniaturisierte Elastomer-Dichtbauteile
Neuartige nanoskalige Funktionsschichten mit plasmaunterstützter Atomlagenabscheidung (ALD) für miniaturisierte Elastomer-Dichtbauteile
Beschreibung
Ziel des Projektes ist es, neuartige nanoskalige Funktionsschichten sowie geeignete plasmaunterstützte und chemisch induzierte Abscheideprozesse zu erarbeiten (Atomlagen-Abscheidung ALD), mit denen je nach Anforderung die Gleit-, Verschleiß- und Barriereeigenschaften elastomerer Mikrobauteile deutlich verbessert und langfristig gewährleistet werden können, ohne die Substrateigenschaften dabei negativ zu beeinflussen.
Projektleitung
NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches
Institut an der Universität Tübingen
Markwiesenstraße 55, 72770 Reutlingen
Tel.: +49 7121 51530-0
Mail: info@nmi.de
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