Polyimid-MEMS-Fertigung für Forschung und Entwicklung
Gruppenleiter Biomedizinische Mikro- und Nanotechnik
Wir bieten Fertigungsdienstleistungen für maßgeschneiderte polymerbasierte MEMS-Komponenten und -Systeme unter Verwendung von Polyimid- und Parylen-Technologie. Unser Schwerpunkt liegt auf biomedizinischen Anwendungen sowie Sensorik für aggressive Umgebungen.
Unser Team vereint Fachwissen in Mikrofertigung, Aufbau- und Verbindungstechnik sowie Systemintegration. Wir unterstützen Forschungsteams, Start-ups und OEMs bei der Entwicklung, Prototypenfertigung und Pilotproduktion anwendungsspezifischer Bauteile.
Mikrosystemtechnik
- Herstellung auf 100 mm Wafern
- Spin-Coating von Polyimid-Schichten (2–10 μm)
- Parylen-C-Abscheidung (2–30 μm)
- Photolithographie auf flexiblen Substraten (Standard: >5 μm L/S)
- Sputter-Abscheidung von Au, Pt, Ti, Cr, TiN und ITO
- Strukturierung mittels Ätzen und Lift-off
- Optimierung von Haftvermittlern
Die angegebenen Spezifikationen sind Richtwerte. Weitere Substratgrößen, Materialien und Dimensionen sind auf Anfrage möglich.
- Drahtbonden
- Flip-Chip-Bonden
- Präzise Mikroassemblierung flexibler Bauteile
- Kleben
- Prozessentwicklung und Technologietransfer
- Bauteildesign (2D/3D-CAD)
- Photomaskenlayout
- Beratung zu Material- und Designkompatibilität
- Entwurf von Leiterplatten, Elektronik und Steckverbindern (Omnetics, Molex usw.)
- Optische und elektrische Prüfung (IV, Impedanz)
- Elektrochemische Untersuchungen (Impedanzspektroskopie, Cyclovoltammetrie, Ladungsinjektionskapazität, Potentiometrie, Amperometrie)
- Alterungstests und Applikationsnahe Belastungsprüfungen
- Fehleranalyse (FIB-SEM, TEM, EDX)
- Anforderungsanalyse: Gemeinsame Definition von Schichtaufbau, Materialwahl, Strukturauflösung und Prüfanforderungen auf Basis der angestrebten Funktion.
- Prozessdesign: Entwicklung und Dokumentation eines anwendungsspezifisch optimierten Fertigungsprozesses. Wir unterstützen entweder in Co-Entwicklung oder übernehmen die komplette Prozessverantwortung.
- Fertigung: Die Herstellung erfolgt in den Reinräumen des NMI. Alle Materialien und Prozessschritte sind rückverfolgbar. Die Montage erfolgt in einem dedizierten AVT-Labor.
- Qualitätssicherung und Test-Engineering: Durchführung von optischer Inspektion, elektrischen bzw. elektrochemischen Funktionstests sowie optionaler Lebensdauer- oder Stabilitätsprüfungen.
- Flexible neuronale Implantate und Mikroelektrodenarrays
- Mikrosensoren für mikrofluidische Systeme und Organ-on-Chip-Plattformen
- Dünnschichtsensoren für tragbare oder implantierbare Systeme
- Hochdichte flexible Leiterbahnen und FFCs
- Biomedizinische Forschungsbauteile und In-vitro-Diagnostik
NMI Naturwissenschaftliches und Medizinisches
Institut an der Universität Tübingen
Markwiesenstraße 55, 72770 Reutlingen
Tel.: +49 7121 51530-0
Mail:
info@nmi.de
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