Herstellung von Festkörpernanoporen

Dr. Peter D. Jones
Gruppenleiter Biomedizinische Mikro- und Nanotechnik

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Wir stellen Nanoporen und nanoporöse Strukturen mit Abmessungen von 100 nm bis unter 1 nm in einer Vielzahl von Materialien her, darunter Siliziumnitrid, Metalle, und 2D-Materialien, wie z. B. Graphen, MoS2, oder hBN.

Nanoporöse Materialien sind von Bedeutung für biologische Sensoren, Batterien und elektrochemische Energiespeicher, Filtration, Membranen, Bodenkunde und Erdölförderung und sogar für andere Phänomene, bei denen es um den Transport von Flüssigkeiten, Gasen oder Ionen in einem Feststoff geht.

Unsere Methoden, die ein Rapid Prototyping im Nanometer- oder sogar im atomaren Bereich ermöglichen, stützen sich auf die folgenden Geräte:

• JEOL ARM 200F High Resolution Transmission Electron Microscope (TEM/STEM) with CEOS Cs corrector
• Zeiss Crossbeam 550 (Gallium FIB/SEM mit EDX, EBID, Kleindiek micromanipulator, Cryo)
• Zeiss Auriga 40 (Gallium FIB/SEM)
• Zeiss Orion Nanofab (Helium FIB), am LISA+, Tübingen

Zusätzlich bieten wir Expertise in der plasma- und nasschemischen Modifikation und Oberflächenfunktionalisierung, z.B. durch Silanchemie.