Herstellung von Strukturen, Bauelementen oder Produkten im Mikrometermaßstab

Dr. Peter D. Jones
Gruppenleiter Biomedizinische Mikro- und Nanotechnik

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Die Mikrofabrikation ist eine Präzisionstechnik zur Herstellung detaillierter Strukturen und Geräte im Mikrometerbereich. Ihre Wurzeln liegen in der Halbleiterfertigung, doch haben sich ihre Anwendungen auf verschiedene Bereiche wie Biomedizin und Mikrofluidik ausgedehnt.

Mit dieser Methode lassen sich Strukturen mit bemerkenswerter Präzision herstellen und verändern, in speziellen Fällen sogar mit einer Genauigkeit von wenigen Nanometern. Unser Expertenteam kann einzelne Prozessschritte anbieten oder komplette Arbeitsabläufe entwickeln, die auf Ihre spezifischen Bedürfnisse zugeschnitten sind. Erfahren Sie hier mehr.

Kernangebote:

Plasmaunterstützte chemische Abscheidung aus der Gasphase (PECVD): Nutzt die Vorteile des Plasmas, um die Abscheidungsraten zu erhöhen und die Homogenität des Substrats sowie eine hervorragende Schichtqualität auch bei Umgebungstemperaturen zu gewährleisten.

PVD (Physikalische Gasphasenabscheidung): Erzielen Sie hervorragende Dünnfilmbeschichtungen mit unseren hochmodernen PVD-Verfahren, die für optimale Haftung und Elementreinheit bekannt sind.

Chemische Gasphasenabscheidung (CVD): Nutzen Sie unsere CVD-Verfahren zur Abscheidung hochwertiger, gleichmäßiger und defektfreier Schichten für eine Vielzahl von Anwendungen.

Spin-Coating: Unsere Spin-Coating-Fähigkeiten ermöglichen unübertroffene Ergebnisse für eine breite Palette von Polymeren und garantieren Präzision in Bezug auf Gleichmäßigkeit und Schichtdickenkontrolle.

Trockenätzen: Unsere fortschrittlichen Trockenätzlösungen liefern anisotrope Ätzprofile, die für detaillierte Mikro- und Nanostrukturen entscheidend sind.

Reaktives Ionenätzen (RIE): Nutzen Sie unsere RIE-Fähigkeiten für unübertroffene Ätzraten, Selektivität und präzisen Strukturtransfer, die für die Mikropräzisionsfertigung unerlässlich sind.

Nassätzen: Unsere Nassätzservices bieten eine isotrope Materialabtragungsmethode, die ideal für das Ätzen von Massen und die Übertragung spezifischer Muster geeignet ist.

Galvanische Beschichtung: Nutzen Sie unsere spezialisierten Galvanikdienstleistungen, die auf die Herstellung komplexer 3D-Strukturen ausgerichtet sind. Unsere Techniken garantieren Metallstrukturen mit definierter Form, verbesserter Haftung und gleichmäßiger Dicke.

Charakterisierung: Über die Herstellung hinaus bieten unsere detaillierten Charakterisierungsdienste einen umfassenden Einblick in die Dicke der von Ihnen hergestellten Schichten. Mit Hilfe von REM-Aufnahmen können wir den Erfolg und die Genauigkeit unserer Herstellungsprotokolle konkret bestätigen.

Warum mit uns zusammenarbeiten?

Mit einem Team von erfahrenen Fachleuten und einem Repertoire an fortschrittlichen Werkzeugen sind wir in einer besonderen Position, um den vielfältigen Anforderungen gerecht zu werden, die mit der Mikrofertigung verbunden sind. Wir unterstützen jedes Angebot mit einer strengen Qualitätssicherung und einem außerordentlichen Engagement für Präzision.

Ganz gleich, ob Sie an Forschung, Entwicklung oder industrieller Serienfertigung interessiert sind, wir sind gut gerüstet und bereit, Ihre Ziele in der Mikrofertigung zu unterstützen.

Lassen Sie uns gemeinsam die Zukunft gestalten, Mikrometer für Mikrometer.

Kontaktieren Sie uns, wir unterstützen Sie mit unseren Dienstleistungen.

Standardprozesse: 

• PVD Sputtering - Au, Ti, Cr, ITO, TiN 
• Electroplating – Au, Ag, Ni 
• PECVD – SiN, SiO₂ 
• CVD – Parylene C 
• RIE – CF₄, O₂, CHF₃
• Dry etching - Ar 
• Spincoating – Polyamide, SU-8 
• Wirebonding – Au 

Charakterisierung: 

• Impedanzspektroscopie 
  • 4-Punkt-Widerstand 
  • Laser-Rastermikroskop (Keyence)
  • Rasterelektronenmikroskop / Fokussierter Ionenstrahl (FIB)/ EDX
  • Profilometrie