Für die Therapie- und Diagnoseverfahren neuronaler Erkrankungen werden vermehrt elektrisch aktive Implantate entwickelt und klinisch getestet, wie beispielsweise Netzhautimplantate zur Wiederherstellung von Sehvermögen und Hirnimplantete zur invasiven Epilepsiediagnostik. Aufgrund der für diese Anwendungen erforderlichen Miniaturisierung und mechanisch flexiblen Bauformen müssen flexible und diffusionsdichte Verkapselungsschichtsysteme entwickelt werden, die ein Eindringen von Körperflüssigkeit an DC-spannungsführenden Elektronikkomponenten und damit den Ausfall der Mikroimplantate durch Korrosion verhindern. Das NMI hat in Zusammenarbeit mit IMTEK ein Verfahren entwickelt, welches durch eine geeignete Wahl und Kombination von biokompatiblen Polymeren (Polyimid, Parylen) und anorganischen Wasserdampfbarriereschichten die Herstellung einer flexiblen und langzeitstabilen Verkapselungsschicht erlaubt. Mit Hilfe von flexiblen Dünnschichtfeuchtesensoren kann die Dichtigkeit der Verkapselungsschichten kostengünstig bestimmt werden. Die Feuchtesensoren sollen später zur Überwachung der Implantatfunktion in reale Implantete integriert werden.