Die besonderen Herausforderungen an ein geeignetes Verkapselungskonzept für elektrisch aktive Mikroimplantate (wie z. B. Retina Implantate, Neuroimplantate) stellen einen wesentlichen Grund dar, warum diese Implantate momentan noch nicht für einen längeren Zeitraum (ca. 10 Jahre) in vivo implantiert werden können. Im folgenden Artikel wird dargestellt, dass durch eine geeignete Wahl und Kompination von biokompatiblen Polymeren und wasserdichten anorganischen Barriereschichten eine langzeitstabile flexible Verkapselungsschicht hergestellt werden kann, welche eine Lösungvariante sein könnte, um die langjährige Implantation zu ermöglichen. Des Weiteren wird die Charakterisierung der Verkapselungsschichten bezüglich ihrer Wasserdampf- und Heliumdurchlässigkeit mittels eines speziellen Permeationsmessgerät (Massenspektrometische Messmethode) vorgestellt. Das Haftungsverhalten der Verkapselungsschichten auf empfindlichen Substratmaterialien kann mit einem neuartigen Plasmaätz-Gitterschnitttest überprüft werden.