Mikrosystemtechnik

Mikrosystemtechnik

Wir entwickeln innovative Geräte und Systeme und stellen sie in unserem Reinraum in Reutlingen her. Unser Schwerpunkt liegt auf Mikrosystemen für Anwendungen in aggressiven Umgebungen, einschließlich der Integration von Fluidik und medizinischer Sensorik.

Sind Sie an einer Beratung zum Einstieg oder zur Lösung eines Problems interessiert? Oder benötigen Sie spezifische Prozesse? Wir helfen Ihnen gerne!

Wir sind eng vernetzt mit anderen Instituten der Innovationsallianz BW und regionalen Unternehmen und Hochschulen. Wenn Ihre Aufgabenstellung eine breitere Expertise erfordert, wissen wir, wen wir ins Boot holen können.

Technologische Prozesse im NMI-Reinraum

 

Kategorie

Prozess

Gerät

Analytik

 

Impedanz-Spektroskopie

Solartron SI 1260 Impedanz Analyzer

 

Optische Profilometrie

Keyence Laserscanning Mikroskop

 

Profilometrie

Bruker DektakXT

 

Schichtwiderstand

4-Spitzenmessplatz

 

3D-Materialanalyse

FIB/SEM Zeiss Crossbeam 550; EDX Detector

Zeiss Crossbeam 1540 mit Leica VCT100 cryo

Zeiss Auriga 40

 

Grenzfächenanalytik

Jeol ARM 200F High Resolution TEM/STEM mit CEOS Cs corrector

 

Oberflächentopographie

Atomic Force Microscope Bruker Innova

 

Lichtmikroskopsystem

Zeiss Axioimager Z2.M

 

Lichtmikroskopsystem

Zeiss SmartZoom

Aufbau- und Verbindungstechnik

 

Drahtbonden

Drahtbonder DelvoTec 5610

 

Flipchip

Fineplacer

 

Kleben

Klebebank, Plasmareiniger, Dosiergerät

 

Sägen (Si, Glas, Quarz)

Wafersäge Disco DAD3220

CVD (Chemical Vapour Deposition)

 

Parylene

Comelec C-30-H (Parylene / PECVD)

 

SiN, SiO

Oxford Plasmalab 800 PECVD

Laserverfahren

 

Schneiden

LPKF ProtoLaser U

Universal Laser Systems ULTRA R5000

 

Schweißen

LPKF PowerWeld 2600 Eco

Lithographie

 

Belackung

Lackschleuder RC8 mit Hotplate

Lackschleuder Convac

SÜSS Gamma 4M Vollautomat

 

Belichtung

Belichter SÜSS MA6

SÜSS MA200 Compact Vollautomat

 

Entwicklung

SÜSS Gamma 4M Vollautomat

 

Laminierung von Trockenfilmresist

Laminator SKY 335R6

Nassätzen & -verfahren

 

Flusssäure ätzen

Nassbank

 

Mikrogalvanik (Au, Ni, …)

Galvanik NBT

Polymer-Dünnschichtverfahren

 

Polyimid

Lackschleuder PI-Convac & Koyo Ofen

 

Parylene

Comelec C-30-H (Parylene / PECVD)

 

Spin-coating PDMS

Lackschleuder Convac (PDMS Labor)

PVD (Physical Vapour Deposition)

 

Sputterdeposition

Porta (verschiedene)

Leybold Z 550 (Au, Pt, Cr, Ti)

Leybold Z 700 (ITO, Ti, Ir)

Leybold L560 (TiN)

Trockenätzen & Plasmabehandlung

 

Plasmabehandlung

Piccolo (O2, N2, Ar, SiO2 Abscheidung)

 

Reactive-ion etching (RIE)

Oxford Plasmalab 800 (O2, CF4)

 

Trockenätzen

Leybold Z 550