Bio­medizi­nische Mikro- und Nano­tech­nik

Unsere Kernkompetenzen im Bereich Mikro- und Nanotechnik wenden wir auf Anwendungen in den Bereichen Life Sciences und Biomedizintechnik an. Unsere Expertise umfasst flexible neuronale Schnittstellen, Mikroelektroden-Arrays, Mikroimplantate, Mikrosensoren und Mikrofluidik. Wir verwenden Reinraum-Mikrofertigung, Dünnfilmabscheidung, Mikro- und Nanostrukturierung, Oberflächentechnik sowie Aufbau- und Verbindungstechnik. Zusätzlich prüfen wir Geräte, Oberflächen und Beschichtungen auf Funktionalität und Langzeitstabilität.
Wir arbeiten eng mit akademischen und privaten Partnern zusammen, in Forschungsprojekten oder als Ingenieurdienstleistung. Unsere Mikrosysteme werden weltweit in Labors für pharmazeutische und biologische Forschungszwecke eingesetzt.

Wir arbeiten an flexibler Elektronik sowie an Glas, Quarz oder Silizium. Funktionelle Strukturen wie elektrische Leiter und niederohmige Elektroden können durch optische Lithographie (1 bis 100 µm) sowie Elektronenstrahl-, fokussierter Ionenstrahl- (FIB) und Nanoimprint-Lithographie (>20 nm) strukturiert werden. Wir verwenden biostabile Elektroden aus Titannitrid, Iridium, leitfähigen Polymeren und Kohlenstoff-Nanomaterialien (z.B. Graphen) mit optimalen Eigenschaften für die Elektrophysiologie (geringes Rauschen bzw. hohe Ladungsinjektionskapazität). Wir produzieren Mikroelektroden-Arrays und Sensoren, die auf spezifische Anwendungen zugeschnitten sind, darunter implantierbare Geräte, Ex-vivo-Präparate sowie 2D- oder 3D-Zellkulturen. Darüber hinaus sind wir spezialisiert auf Aufbau- und Verbindungstechnik, Verkapselung und Prüfung.

Wir entwickeln dafür Herstellungsprozesse für höchste Qualitätsansprüche und kombinieren Methoden aus der Mikro- und Nanotechnik, um diesen gerecht zu werden. Mittels Oberflächenmodifikationen optimieren wir die Eigenschaften von industriellen Produkten nach Kundenanforderung, insbesondere bieten wir Methoden an, Produkte vor Korrosion und Verschleiß schützen und somit langlebiger zu machen. Wir untersuchen die Stabilität und Qualität unserer Entwicklungen sowie als Auftragsdienstleistung für Industriepartner. Wir prüfen Klebungen auch aus der Makrowelt wie Automotive, Bauwesen, Leichtbau, Maschinenbau und Medizintechnik, mittels Zug-, Zugscher-, Schäl-, Druck- und Biegeprüfungen, sowie DMA- und DSC-Analysen, die demnächst akkreditiert gemäß DIN EN ISO/IEC 17025 angeboten werden.

Dienstleistungsangebote

  • Flexible Mikroelektrodensysteme für elektrophysiologische Interfaces
  • Mikrosystemtechnik
  • Beschichtungen und Oberflächenmodifikation
  • Verkapselungen
  • Entwicklung von elektrischen und mechanischen Prüfverfahren insb. für implantierbare Mikrosysteme

Verfahren

  • Design von Mikrosystemen
  • Mikrotechnische Herstellung sowie Prozessentwicklung
  • Niederdruckplasma-Beschichtungsverfahren (PECVD, PVD)
  • Parylene, DLC, keramische und glasartige Schichten für biokompatible Verkapselung, Verschleiß- und Korrosionsschutz

Netzwerk

  • DGBMT /vde
  • Microtec Südwest

Lehre

  • Beteiligung am Studiengang Medizintechnik der Universitäten Tübingen und Stuttgart