Projekte

Ihr Ansprechpartner
Dr. Claus J. Burkhardt

Mikrosystem-/Nanotechnik

Tel: 07121 51530-55
E-Mail

Sphärisches Rundfensterimplantat für Schwerhörige

Entwicklung des inneren Implantats mit Fotodiode, Polyimidkabel und Aktor

Projektname: RW-Implantat
Sphärisches Rundfensterimplantat für Schwerhörige
Projektleiter: Dr. Claus Burkhardt
Geldgeber: BMBF
Projektträger: DLR
Laufzeit von: 01.09.2009
Laufzeit bis: 31.03.2012

Bei diesem neuartigen Hörimplantat wird das Schallsignal in ein optisches Signal gewandelt und durch das Trommelfell auf eine Fotodiode im Mittelohr übertragen. Am NMI wird der innere Teil des Implantats bestehten aus einem flexiblen Kabel auf Basis von Polyimid entwickelt. Auf diesem Kabel werden die Fotodioden und der Aktor zur Stimulation des Innenohrs mittels entsprechender Verbindungstechnik integriert.

Beschreibung

Das innere Implantat besteht aus Empfänger (Fotodiode) und Aktor. Beide sind durch ein flexibles Kabel verbunden. Erste Prototypen dieses Kabels wurden am NMI mit der im Hause vorhanden Polyimid (PI) Technologie hergestellt. Dabei wird auf ein 4Zoll Glassubstrat mittels Spincoating Verfahren eine dünne Schicht mit einstellbarer Schichtdicke (typischerweise 5-7µm) mit dem Precursor Pyraline 2611 (HD Microsystems) aufgebracht und in einem speziellen Imidisierungsofen bei 350° unter Stickstoffatmosphäre imidisiert. Um eine geringe Defektfreiheit dieser PI-Kablel zu gewährleisten wurde ein neuer Imidisierungs-Ofen mit integrierter Laminar Flow installiert und die Prozesse etabliert. Auf diese erste PI Schicht wird dann mittels PVD ein Schichtsystem aus Titan und Gold aufgebracht und über optische Lithografie und Trockenätzen strukturiert. Im nächsten Schritt wird eine zweite Lage PI aufgebracht. Durch einen weiteren Lithografieschritt werden die Kontakte an den Enden des Kabels freigeätzt. Um Fotodiode und Aktor mit den Leiterbahnen des Kabels verbinden zu können muss die dünne Gold-Leitbahn (Dicke etwa 400nm) mittels Mikrogalvanik im Goldbad auf eine Schichtdicke von etwa 3µm verstärkt werden. Diese Schicht ist geeignet um Kontakte mittels Ultraschall Drahtbonder herzustellen.

Bundesministerin Schavan präsentierte am 1.2.2011 das Forschungsprojekt als "Projekt des Monats". >> http://www.bmbf.de/de/15715.php

Projektpartner

  • 2E Mechatronic
  • Auric Hörgeräte
  • Frauenhofer IPA Stuttgart
  • HNO Klinik Tübingen
  • isys

zurück