Mikrosystemtechnik

Immer kleiner, immer smarter. Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik ermöglichen die Integration zahlreicher intelligenter Funktionen in stetig kleiner werdenden Systemen. Und das für immer anspruchsvollere Anwendungen in der Produktion, in der Energie-, Umwelt-, Kommunikations- und Sicherheitstechnik sowie im Gesundheitswesen.

Das NMI entwickelt, fertigt und testet spezifische Mikrosysteme für Anwendungen in den Lebenswissenschaften und der industriellen Sensorik. Vom Design über die Simulation bis zur standardisierten Fertigung von Kleinserien in modernen Reinräumen wird die gesamte Wertschöpfungskette abgedeckt. Unser Team von Wissenschaftler:innen entwickelt planare und 3D-Mikroelektroden, Chemosensoren und Komponenten für die In-vitro-Elektrophysiologie, für intelligente Implantate und Neuroprothesen. Die Smart-System-Integration profitiert dabei von neuen Werkstoffen und Herstellungsverfahren sowie den Möglichkeiten der Dünnschichttechnologie zur Herstellung leichter und hochflexibler Schaltungsträger und biokompatibler Verkapselungen.