Kompetenzen

Ihr Ansprechpartner
Dr. Claus J. Burkhardt
Nanoanalytik

Tel: 07121 51530-55
burkhardt(at)nmi.de

Mikrosystem- und Nanotechnik

Die Gruppe betreibt den Reinraum des NMI. In diesem Reinraum der Klasse ISO 5 werden Mikro- und Nanosysteme für life sciences Anwendungen entwickelt und in Kleinserie produziert.

Für diese Syteme werden spezielle biostabile Elektroden aus Titannitrid und Iridium sowie 3D Elektroden prozessiert. Für die Mikro- und Nanostrukturierung werden optische Lithografie, Elektronenstrahl-, Focused Ion Bam (FIB) und Nanoimprintlithografie verwendet. Damit können Strukturen im Bereich von 20nm bis 100µm erzeugt werden.

Techniken und Methoden

Reinraum Klasse ISO 5

Dünnschichttechnik mit

  • Physical Vapour Deposition (PVD)
  • Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD)

Optische Lithografie

  • Suss MA6
  • Suss MA200 Compact

Nano-Lithografie

  • Elektronenstrahllithografie (Zeiss FESEM Gemini mit Raith Elphy)
  • Nanoimprinting (EVG 620)
  • Focused Ion Beam (FIB) rapid prototyping
    • Additive Nanolithografie
  • Ion Beam Induced Deposition (IBID)
  • Ionenätzen

Plasmaätzen

  • Metalle und Isolatoren

Mikrogalvanik

  • Entwicklung von 3D Elektroden
  • Galvanische Verstärkung von Bondpads

Nassprozesse

  • KOH Ätzen
  • HF-Ätzen

Analytik und Messtechnik

Analytische Elektronenmikroskopie

  • EDX (Energy Dispersive X-Ray Analysis)
  • FIB/SEM Querschnittsanalyse
  • FIB/SEM Tomographie

Entwicklung von Präparations Methoden

  • Biologisch Technische Grenzflächen

Elektrochemische Charaktersierungsmethoden, 

  • Impedanzmessung
  • Impedanz-Spektroskopie 

Aufbau- und Verbindungstechnik

Kleben
Löten
Bonden
Laser-Mikrostrukturierung

Entwicklung und Produktion von Biosensoren / Mikroelektroden-Systemen

MEAs
Polyimid MEAs
MEA Produktion

Aktuelle Projekte    Abgeschlossene Projekte
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